各種行業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求

文章出處：新聞資訊責任編輯：東莞市力翔空調(diào)凈化工程有限公司發(fā)表時間：2021-01-23

1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 5級

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間工程空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 6級

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明：

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點。

各無塵車間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級

顯影、刻蝕間 ISO 5級

成盒間 ISO 5級

濺射、CVD間 ISO 6級

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

各無塵車間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭 ISO 5級

備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級

組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級